產(chǎn)品資料
高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊
產(chǎn)品名稱: 高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊
產(chǎn)品型號: RC系列
產(chǎn)品特點: 高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空氣滑塊」定位為“測量設(shè)備用高精度定位單元"，典型特點是把多孔質(zhì)陶瓷導(dǎo)軌 + 靜壓空氣軸承集成在一條緊湊底座內(nèi)，可在 2400 mm 行程內(nèi)實現(xiàn) ≤ 2 µm 的直線度，重復(fù)再現(xiàn)性 0.2 µm 以內(nèi)，適用于三坐標、激光測厚、晶圓檢測等需要亞微米級定位的測量工位 。
高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊 的詳細介紹
高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊
高精度定位單元多孔質(zhì)陶瓷制空氣滑塊
日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空氣滑塊」定位為“測量設(shè)備用高精度定位單元"，典型特點是把多孔質(zhì)陶瓷導(dǎo)軌 + 靜壓空氣軸承集成在一條緊湊底座內(nèi)，可在 2400 mm 行程內(nèi)實現(xiàn) ≤ 2 µm 的直線度，重復(fù)再現(xiàn)性 0.2 µm 以內(nèi)，適用于三坐標、激光測厚、晶圓檢測等需要亞微米級定位的測量工位。
主要規(guī)格與優(yōu)勢
- 材質(zhì)：導(dǎo)軌與滑塊工作臺整體燒結(jié)陶瓷，質(zhì)量輕、熱膨脹系數(shù)低，長時間使用彎曲變形量小。
- 精度（出廠實測附報告）
- 直線精度：垂直/水平面內(nèi)與理想直線偏差 ≤ 2 µm/2400 mm
- 滑塊上表面平行度：±1 µm/100 mm
- 重復(fù)定位：0.2 µm（未加載，0.1 MPa 供氣）
- 結(jié)構(gòu)選項
- 可移動式（手動/電機驅(qū)動）與定置式兩種；最長 3500 mm 拼接供貨。
- 接口與附件
- 標準底座兩側(cè)帶 M4 螺紋孔，可直接鎖至花崗巖平臺或鋁框架；
- 可選配 PM-T 伺服/步進一體驅(qū)動單元，實現(xiàn)閉環(huán) 0.01 µm 分辨率。
- 使用環(huán)境
- 供氣 0.4-0.6 MPa 潔凈干燥空氣；
- 溫度 20 ± 1 ℃ 時性能最佳，可在 Class 1000 潔凈室長期運行。
綜上，RC 系列通過“全陶瓷導(dǎo)軌 + 靜壓空氣軸承"把直線度控制在 2 µm 級，同時保持 0.2 µm 重復(fù)性，是測量設(shè)備或半導(dǎo)體檢查裝置實現(xiàn)高精度、長行程定位的典型空氣滑塊方案。
日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空氣滑塊」定位為“測量設(shè)備用高精度定位單元"，典型特點是把多孔質(zhì)陶瓷導(dǎo)軌 + 靜壓空氣軸承集成在一條緊湊底座內(nèi)，可在 2400 mm 行程內(nèi)實現(xiàn) ≤ 2 µm 的直線度，重復(fù)再現(xiàn)性 0.2 µm 以內(nèi)，適用于三坐標、激光測厚、晶圓檢測等需要亞微米級定位的測量工位。
主要規(guī)格與優(yōu)勢
- 材質(zhì)：導(dǎo)軌與滑塊工作臺整體燒結(jié)陶瓷，質(zhì)量輕、熱膨脹系數(shù)低，長時間使用彎曲變形量小。
- 精度（出廠實測附報告）
- 直線精度：垂直/水平面內(nèi)與理想直線偏差 ≤ 2 µm/2400 mm
- 滑塊上表面平行度：±1 µm/100 mm
- 重復(fù)定位：0.2 µm（未加載，0.1 MPa 供氣）
- 結(jié)構(gòu)選項
- 可移動式（手動/電機驅(qū)動）與定置式兩種；最長 3500 mm 拼接供貨。
- 接口與附件
- 標準底座兩側(cè)帶 M4 螺紋孔，可直接鎖至花崗巖平臺或鋁框架；
- 可選配 PM-T 伺服/步進一體驅(qū)動單元，實現(xiàn)閉環(huán) 0.01 µm 分辨率。
- 使用環(huán)境
- 供氣 0.4-0.6 MPa 潔凈干燥空氣；
- 溫度 20 ± 1 ℃ 時性能最佳，可在 Class 1000 潔凈室長期運行。
綜上，RC 系列通過“全陶瓷導(dǎo)軌 + 靜壓空氣軸承"把直線度控制在 2 µm 級，同時保持 0.2 µm 重復(fù)性，是測量設(shè)備或半導(dǎo)體檢查裝置實現(xiàn)高精度、長行程定位的典型空氣滑塊方案。
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